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抛光专用硅溶胶说明书

作者:银丰技术部来源:银丰技术 浏览次数: 日期:2018-12-11

抛光专用硅溶胶系列                    JNF-40-120P   JNF-40-80P

产品简介

本系列产品是我司生产的专用于抛光行业的高端硅溶胶产品。公司采用先进的生产工艺,检测手段齐备,原材料选用严格,根据客户需求可以制备不同浓度、不同粒径波段的硅溶胶产品,指标可控性强,质量稳定,品种齐全

主要特点

我司抛光用硅溶胶分散度小,可以根据客户需要选择不同的粒径范围,且纯度高、稳定性好,可广泛应用于微电子行业及高新技术产品表面超精密加工领域。本系列硅溶胶采用国际先进的分级生长法,选用品质优秀的晶种进行合成,并且采用全自动的控制方式、无尘的生产环境,保证了产品的致密性和稳定性,能够在CMP中达到不凝胶、不结晶的效果,且不腐蚀设备、无毒无害、不污染环境。

主要用途

本系列硅溶胶产品主要应用于微电子、光电子、金属等行业中硅材料表面、蓝宝石表面、硬盘表面以及各种金属的CMP工艺,也可以用于扩散片的CMP工艺。本系列硅溶胶也可以应用于精密铸造行业、石油工业、制药工业、有机合成工业中催化剂载体和吸附剂的制造、涂料、造纸、耐火材料、冷轧硅钢片、印刷、蓄电池等行业。

基本参数

JNF-40-120P

JNF-40-80P

检测设备

SiO2%

38-40

38-40

浓度与比重关系表

pH值

9.5-11.0

9.5-11.0

精密pH计

比重

1.265-1.290

1.265-1.290

比重计

粒径(nm)

100-120

70-90

激光粒度仪、SEM

粘度(mPa.s)

<5

<5

旋转粘度计配合毛细管粘度计

Na2O%

<0.3

<0.3

火焰分光光度计、行标滴定法

外观

乳白

乳白

浊度仪、目测

          

运输及保存
1、运输与存放过程中避免阳光直射。

2、建议储存温度为5-35℃,同时避免温度骤然升降,以免发生凝胶现象。

3、保质期一年,建议半年内使用。

包装规格

25kg/桶、50kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。

蓝宝石基片CMP浆料                           YF-SPS-001

产品简介

YF-SPS-001型蓝宝石基片CMP浆料是我司生产的水溶性高纯度CMP浆料,具有粒径分散度低、稳定性好、浓度高、可循环使用等特点, 用于蓝宝石基片软抛加工工艺,可实现晶片移除速率稳定、表面平整度高、粗糙度低,且表面无麻点、腐蚀坑等微缺陷,多项参数达到国际先进水平。YF-SPS-001型CMP浆料为公司新开发的产品,主要以速率稳定性好,表面质量高为优势。该产品用于蓝宝石晶片加工的CMP抛光工艺,目前已经在多家蓝宝石加工厂家批量使用,客户反馈其用于蓝宝石基片表面高质量平整化加工,表面质量符合工业生产的要求,能够达到较好的加工效果。

主要特点

YF-SPS-001型蓝宝石基片CMP浆料采用我公司自主合成生产的高端纳米SiO2水溶胶作为磨料,具有生产自动化高,稳定性好的特点。CMP浆料生产过程中采用自动化配制,辅料的添加采用高精度流量计控制,全方位立体搅拌,两层进口折叠滤芯过滤,全程无尘环境生产,因此产品金属杂质极少、易清洗、无毒无污染;使用过程产品移除率高、损伤层小、平整度高,避免晶片出现划伤。

YF-SPS-001型CMP浆料中加入了特定的抛光促进剂以及活性物质,能够在CMP过程中保证质量传输的一致性,提高抛光效率。CMP过程中根据需要可以优化不同配比,均能达到最佳使用效果,与国内外同类产品相比,该产品在抛光过程中具有无结晶,划伤少,可以循环使用等特点。

主要用途

主要用于2、4、6英寸蓝宝石衬底片的高质量平整化精密加工工艺。

基本参数

pH

比重

粘度(mPa.s25℃)

粒径nm

Na2O%

SiO2%

外观

11.0-12.0

1.265-1.285

5

 100-120

0.3

38-40

乳白色

使用方法

建议和去离子水的配比为1:1-1:5,也可根据实际要求改变配比。

  

注意事项

1、CMP浆料使用过程中尽量避免直接暴露,防止污染物进入浆料中造成划伤。

2、冬季气温较低(<5℃)时,浆料不可放置室外,需存放在恒温仓库,一旦发生凝胶将不可使用。

3、浆料使用过程中需要及时清洗管路和器具,避免浆料长期残留在管路和容器中造成凝胶、结晶,引起晶片表面划伤。

4、浆料循环使用时,需要在管口添加过滤装置,以免发生凝胶而又反复应用造成晶片表面划伤。

运输及保存

1、运输与存放温度为5-40℃,25℃为最佳存放温度,存放时应避光,以避免浆料变质。

2、保质期一年,建议半年内使用。

3、避免金属、颗粒污染,避免强电解质的接触。

包装规格

 

25kg/桶、50kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。

所属类别: 行业新闻

该资讯的关键词为:抛光液  cmp浆料  抛光用硅溶胶 

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工业硅粉

产品性能:   工业硅粉又称金属硅粉,是银灰色或暗灰色粉末,有金属光泽。其熔点高,耐热性能好,电阻率高,具有高度抗氧化作用,被称为“工业味精”是很多高科技产业不可缺少的基础原材料。 〔用途〕 1、工业硅粉广泛的应用于耐火材料、粉末冶金行业中,以提高产品的耐高温,耐磨损和抗氧化性。其产品被广泛地应用于炼钢炉、窑炉、窑具中。 2、在有机硅化工行业,工业硅粉是有机硅高分子合成的基础原料,如用于生产硅单体,硅油、硅橡胶防腐剂,从而提高产品的耐高温性、电绝缘性、耐腐蚀、防水等特性。 3、工业硅粉经拉制成单晶硅,加工而成的硅片被广泛应用于高科技领域,是集成电路、电子元件必不可少的原材料。 4、冶金铸造行业中,工业硅粉作为非铁基合添加剂、硅钢合金剂,从而提高钢淬透性。工业硅粉也可应用于某些金属的还原剂,用于新型陶瓷合金等。 5、用于生产硅溶胶。 常用规格为180~325目、200目、325目、800目等 可根据用户需要提供不同粒径范围。 〔技术指标〕 硅粉 级别 规 格 Si不小于 化学成分%杂质不大于 Fe Al Ca 化 工 用 硅 粉 特级1 Si-1(10-120目) 99.5 0.25 0.15 0.05 特级2 Si-2(10-120目) 99.4 0.3 0.2 0.03 A-1级 Si-A(10-120目) 99.3 0.4 0.1 0.1 A-2级 Si-A(10-120目) 99.1 0.4 0.2 0.1 A-3级 Si-A(10-120目) 99.0 0.4 0.4 0.1 B级 Si-B(10-180目) 98.5 0.5 0.3 0.2 化 工 用 硅 粉 特级1 Si-1(120-180目) 99.5 0.25 0.15 0.05 特级2 Si-2(120-180目) 99.4 0.3 0.2 0.03 A-1级 Si-A(120-180目) 99.3 0.4 0.1 0.1 A-2级 Si-A(120-180目) 99.1 0.4 0.2 0.1 A-3级 Si-A(120-180目) 99.0 0.4 0.4 0.1 B级 Si-B(120-180目) 98.5 0.5 0.3 0.2 C级 Si-C(120-180目) 98.0 0.6 0.4 0.4 冶 金 用 硅 粉 特-1级 Si-T1(180-500目) 99.0 0.4 0.2 0.1 特-2级 Si-T2(180-500目) 98.8 0.4 0.4 0.1 一级 Si-1(180-500目) 98.5 0.5 0.3 0.2 二级 Si-2(180-500目) 98.0 0.6 0.4 0.3 三级 Si-3(180-500目) 97.0 0.8 0.7 0.6 低品位硅粉 低品位 Si(180-500目) 96% 杂质含量≤4.0 Si(180-500目)

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