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蓝宝石CMP概述

浏览次数: 日期:2017-08-10

                              蓝宝石CMP概述
    蓝宝石为刚玉族矿物,莫氏硬度为9,热特性、电气特性和介电特性极好,而且惰性强、透光性和耐磨性好,是一种光学特性、物理特性、机械特性和化学特性独特组合的氧化物晶体。
    化学机械抛光(CMP)是当前世界上唯一可以实现全局平坦化的工艺技术,在许多领域都得到了广泛的应用。在蓝宝石CMP系统中,磨料发挥的作用是参与化学反应和机械研磨。化学作用主要是使磨料与被抛材料发生反应,形成易被去除的产物;机械研磨作用主要是使反应生成物脱离被抛材料表面,使材料新生表面露出,以便继续反应去除。
    在抛光液中,磨料是重要因素之一。它提供了CMP 工艺的机械作用,其粒径、浓度以及硬度均是影响抛光效果的重要参数,其中粒径是影响抛光速率的主要因素之一。一般来说,磨料粒径越大,抛光速率就越大;但粒径过大,则易凝聚成团,而使晶片表面划痕严重。分散度过大,虽然平均粒径不大,但极个别的大颗粒很容易在被抛材料表面产生划痕。
    目前,在蓝宝石的CMP 工艺中,常用的磨料主要包括金刚石、二氧化硅溶胶、氧化铈和氧化铝、碳化硼等磨料,其中二氧化硅溶胶具有粒径可控、硬度适中、粘度较小、粘附性低、抛光后易清洗等特点而被广泛应用。

 

所属类别: 行业新闻

该资讯的关键词为:CMP  cmp抛光液 

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工业硅粉

产品性能:   工业硅粉又称金属硅粉,是银灰色或暗灰色粉末,有金属光泽。其熔点高,耐热性能好,电阻率高,具有高度抗氧化作用,被称为“工业味精”是很多高科技产业不可缺少的基础原材料。 〔用途〕 1、工业硅粉广泛的应用于耐火材料、粉末冶金行业中,以提高产品的耐高温,耐磨损和抗氧化性。其产品被广泛地应用于炼钢炉、窑炉、窑具中。 2、在有机硅化工行业,工业硅粉是有机硅高分子合成的基础原料,如用于生产硅单体,硅油、硅橡胶防腐剂,从而提高产品的耐高温性、电绝缘性、耐腐蚀、防水等特性。 3、工业硅粉经拉制成单晶硅,加工而成的硅片被广泛应用于高科技领域,是集成电路、电子元件必不可少的原材料。 4、冶金铸造行业中,工业硅粉作为非铁基合添加剂、硅钢合金剂,从而提高钢淬透性。工业硅粉也可应用于某些金属的还原剂,用于新型陶瓷合金等。 5、用于生产硅溶胶。 常用规格为180~325目、200目、325目、800目等 可根据用户需要提供不同粒径范围。 〔技术指标〕 硅粉 级别 规 格 Si不小于 化学成分%杂质不大于 Fe Al Ca 化 工 用 硅 粉 特级1 Si-1(10-120目) 99.5 0.25 0.15 0.05 特级2 Si-2(10-120目) 99.4 0.3 0.2 0.03 A-1级 Si-A(10-120目) 99.3 0.4 0.1 0.1 A-2级 Si-A(10-120目) 99.1 0.4 0.2 0.1 A-3级 Si-A(10-120目) 99.0 0.4 0.4 0.1 B级 Si-B(10-180目) 98.5 0.5 0.3 0.2 化 工 用 硅 粉 特级1 Si-1(120-180目) 99.5 0.25 0.15 0.05 特级2 Si-2(120-180目) 99.4 0.3 0.2 0.03 A-1级 Si-A(120-180目) 99.3 0.4 0.1 0.1 A-2级 Si-A(120-180目) 99.1 0.4 0.2 0.1 A-3级 Si-A(120-180目) 99.0 0.4 0.4 0.1 B级 Si-B(120-180目) 98.5 0.5 0.3 0.2 C级 Si-C(120-180目) 98.0 0.6 0.4 0.4 冶 金 用 硅 粉 特-1级 Si-T1(180-500目) 99.0 0.4 0.2 0.1 特-2级 Si-T2(180-500目) 98.8 0.4 0.4 0.1 一级 Si-1(180-500目) 98.5 0.5 0.3 0.2 二级 Si-2(180-500目) 98.0 0.6 0.4 0.3 三级 Si-3(180-500目) 97.0 0.8 0.7 0.6 低品位硅粉 低品位 Si(180-500目) 96% 杂质含量≤4.0 Si(180-500目)

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